您好,歡迎訪問登錄AG平台模具鋼有限公司官網,我們將竭誠為您服務!
登錄AG平台模具鋼有限公司/瑞典一勝百ASSAB/奧地利百祿BOHLER/德國薩斯特HEROS/日本日立HITACHI/日本大同DAIDO
全國服務熱線

0769-85414652

  • 登錄AG平台模具鋼有限公司/瑞典一勝百ASSAB/奧地利百祿BOHLER/德國薩斯特HEROS/日本日立HITACHI/日本大同DAIDO
  • 登錄AG平台模具鋼有限公司/瑞典一勝百ASSAB/奧地利百祿BOHLER/德國薩斯特HEROS/日本日立HITACHI/日本大同DAIDO
產品分類
聯係我們

東莞市登錄AG平台模具鋼材有限公司

聯係人:蔡小姐

電 話:0769-85414652   

電 話:85495455   

電 話:85495456

傳 真:0769-85334509

E-mail:yzsales@hotmail.com

地 址:廣東省東莞市長安鎮

公司新聞當前位置:首頁 -> 公司新聞

化學氣相沉積CVD的特點及其在模具上的應用

發布時間:2017-12-23 11:51:18點擊率:

RSS訂閱

化學氣相沉積CVD的特點及其在模具上的應用

定義:采用含有膜層中各元素的揮發性化合物或單質蒸氣,在熱基體表麵產生化學反應,反應產物沉積在基體表麵成膜。


⒈基本原理→簡單→化學反應式

反應類型 化學反應式

熱分解  SiH4 →Si+2H2

氫還原  TiCl4+2H2+1/2N2 →TiN+4 HCl

金屬還原  SiCl4+2Zn →Si+2ZnCl2

氧化 SiH4+O2 →SiO2+2H2


⒉CVD的主要工藝參數

⑴、溫度:T↑,反應速度↑ ↘

⑵、壓力:P↑,反應速度↑ →需高溫、高壓→最大問題

⑶、反應物配比:如Ti、N,Si、O要匹配


⒊CVD設備(以鍍TiN塗層為例)

工件置於氫氣保護下,加熱到1000-1050°C,然後以氫作為載氣把TiCl4和甲烷送入爐內的反應室中,使TiCl4中的鈦與甲烷中的碳化合,形成碳化鈦。反應的副產物則被氣流帶出室外。

⑴、CVD的特點

①、設備簡單,適宜大批量生產。

②、薄膜與基體結合強度高。

③、可製備純度高、結構高度完整的晶態薄膜,也可以沉積出非晶態薄膜。

④、可較準確地控製薄膜的化學成分及膜的結構。

⑤、可製備純金屬膜、合金膜以及金屬間化合物膜,如鉻、硼、碳、矽、硼化物、矽化物、碳化物、氮化物、氧化物、硫化物、金剛石等薄膜,可作為耐磨、耐蝕、裝飾、光學等功能膜而得到廣泛應用。

⑵、主要缺點→薄膜沉積時要求工件的溫度高。如沉積氮化物、硼化物時,要加熱到900℃以上。


⒋等離子增強化學氣相沉積(PCVD)

⑴、原理:在反應室內增設離化裝置,使反

應氣體離化→從而大大促進反應進行,

使沉積速率↑↑,反應溫度↓↓

⑵、特點

①、溫度低→CVD  1000左右→減少了溫度對基體的影響  PVD  500以下↗ 可在不耐高溫的材料上沉積。

②、沉積速率↑→等離子活化。

③、結合力↑→因有高能離子轟擊和對基體表麵的濺射清洗。

④、塗層材料範圍↑↑ →等離子的激發,可使難成膜材料沉積。


⒌CVD的特點及其在模具上的應用

CVD技術已應用到拉深模、衝裁模、卷邊模、塑料模中。

例1,鍍有TiN的Crl2鋼模具壽命提高6—8倍,比鍍硬Cr高3—5倍oCrl2MoV拉拔模經鍍覆後壽命提高20倍。

例2. 使用T1N鍍層的塑料注射模具生產含40%礦物質填料的尼龍零件時,有效地避免了模具的侵蝕和磨損,使用壽命從60萬次增加200萬次。


⒍總結

⑴、氣相沉積在模具上應用的關鍵問題:

結合強度→剝落問題

沉積溫度→基體性能、變形、結合強度、致密性

沉積速率→效率、經濟效益

薄膜選擇→性能

⑵、薄膜選擇的關鍵問題

硬度→(TiC 3200-4100Hv,TiN 2450Hv)

摩擦係數→自潤滑

耐蝕性能

耐高溫抗氧化

化學穩定性→熔點↑,穩定性↑,發生咬合、冷焊的傾向小

設備是手段,材料是根本。

登錄AG平台模具鋼有限公司 版權所有© Copyright 2017 備案號:粵ICP備17163686號-1
*本網站中所涉及的圖片、文字等資料均屬於登錄AG平台模具鋼有限公司所有,未經許可不得轉載*
美工及程序設計:
金站網·通易建站


客戶服務熱線
0769-85414652
在線客服
AG注册开户 AG真人线上网站 AG线上平台注册 AG亚游集团网址 真人百家家乐 AG压游 AG8国际亚游首页